【残余气体分析仪原理结构】残余气体分析仪原理结构及气体残留率如何计算|行业动态|承天示优

残余气体分析仪的原理

残余气体分析仪常用于检测精密机械、电子元器件等产品中的氧、水和有害物质等，以确保这些产品符合特定行业的标准。其工作原理主要包括两个方面：采样和分析。

首先，采样部位需要选择在被测试物品表面越靠近与环境接触处越好。通常情况下，会使用一个喷嘴将空气引入便携式或固定式设备内。然后使用吸附剂收集空气中目标成份，并将吸附后的化学物质导入到检测系统里进行分析。

其次，为了使得每种组份都流经吸附器内，在进出口之间穿过一系列阀门、泵以及管道连接到液相色谱（LC）或者是质谱（MS）等其他类似检测设备上进行分离和量化。

依赖于传感技术，被广泛应用于电路板生产线、照明产品、化学药品和半导体制造工艺中的残余气体分析仪一般会包含以下五个部分：

1. 控制系统：负责采集控制信号并进行反馈，保证设备稳定运行；

2. 输送系统：主要由进口阀、泵头以及吸附器等组件组成；

3. 检测系统：具有高灵敏度（ppm级）的检测装置，可以识别出目标元素；

4. 数据处理系统：利用计算机技术对从检测装置收到的数据进行整理和处理。通过查找已知判别基线上下文环境来确定噪音水平，并建立合适的模型来排除误差信号；

5. 显示报告系统：将得到数据与预先定义好了规格限值进行比较，并给予提示或者警告。

根据ISO/IEC 12219-7:2018国际标准，残留碳氢化合物THC是指在被测试样品内存在于空气中的未燃尽或不完全燃烧生成物。通常情况下，我们使用总豁免量(TAC)和特定豁免量(SAC)(按调查结果确定)之间的比例表示THC的残留率。计算公式如下：

残留率(%) = (TAC - SAC) / TAC * 100%

其中，TAC由加热和牵引车仿真测试或者是机器架设试验等实验得到；SAC是指特定豁免量，又称为质检限值。

要注意，在使用出厂商提供的气体分析仪之前，需要对该设备进行标准化校验以赢得合格证书，并且每年都必须进行一次全面维护保养以确保其精度和灵敏度处于最佳状态。

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