• 本文目录导读：
• 1、 RGA残余气体分析仪价格
• 2、 残余废气系数定义

RGA（Residual Gas Analyzer）残余气体分析仪是一种广泛应用于各个领域的高精度分析设备，可以用来检测和识别材料或系统中存在的低压下之极少量气体成份。在工业、医疗、环保等多个领域均有重要应用。

RGA残余气体分析仪价格

RGA残余气体分析仪的价格通常由不同型号和配置决定。市面上常见品牌包括美国Ametek公司、英国Hiden Analytical公司、德国Pfeiffer Vacuum Technology AG等，每家公司都提供了多种产品型号以适应不同用户需求。以下列举几款产品作为参考：

1. Ametek ProLine 100 高精度质谱探头：该模型适合对小样本进行光电子发射物质评估，还可扩展到更大样本。

价格范围：约3,000-5,000美元

2. Hiden QIC 系列 全自动流程监测系统: 这是一套能够在实际使用过程中持续运行并收集数据的在线监测系统。

价格范围：约20,000-70,000美元

3. Pfeiffer Vacuum OmniStar GSD 320 O2/N2 气体分析仪：适合常规气体分析，性价比高。

价格范围：约5,200-10,000欧元

值得注意的是，以上价格只供参考。用户应先了解自身需求和使用场景后再进行选择。另外，在购买前建议咨询相关技术人员以获得更详细的资讯。

残余废气系数定义

残余废气系数是指在真空系统中保持压力稳定时，通过RGA残余气体分析仪所检测到的各种可能存在于环境里不同成份物质之剩余或殘存量与該真空系统內原有總流量之间的关系。该参数用来描述已经经过多次处理、抽取、装置加工等工艺后，剩下不容易除去但对设备运行或晶片制造等生产工艺影响极大严重降低产品质量及效率因素，并决定着对真空器件寿命及相互作用无损测试判断结果准确度的要求。

正常情况下，在某一设备内部操作时可忽略一些轻微的气体残留，而这些残余气体对于一些特定工艺和检测非常重要。举个例子，在制造固态器件时会采用分层沉积薄膜技术，即将不同材料依次沉积在基片上以形成完整结构，而需要控制每一步操作过程中相应金属原子数量的变化及纯度。通过RGA仪器可以实现对真空系统中各种气体组分进行逐步排除处理直至达到最终预期状态，并得出正式废氣系数数据。

总之，残余废气系数是衡量一个真空设备质量、稳定性和效率的关键指标。

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