残余气体是指在真空系统中不能被完全排除的一种气体，常见的有水蒸汽、氮气等。这些不良物质会严重影响真空系统的性能和稳定性，因此需要对其进行分析和监测。

HPQ3S残余气体分析仪和RGA（Residual Gas Analyzer）残余气体分析仪都是用于实时检测真空室内部存在的各类悬浮微粒、热释放物质、化学生成物与污染物质样品。

1. HPQ3S

HPQ3S采用了高灵敏度五极谱技术，并通过反应室使得小量成份易于探测。该设备可涵盖大范围压力范围(10^-9 ~ 1000 mbar)以满足多种标准应用需求，同时也具备超高属性比：820:1(H2),32000:1(CH4)，可以通过专门针头提供更加迅速手动切换通道。此外该设备还含有OLED显示屏幕并配合自带数据打印机。

基本原理：

当一个DC电场加到一组平行的金属栅上时，由于离子化作用，在栅之间产生一个静电场。在特定的操作条件下，这个环境可以包含退火器和反应室，并暴露在分子束所造成的扰动性影响之中。

2. RGA

RGA残余气体分析仪是一种利用质谱学原理检测真空系统内部残留气的设备。其基本组成部分包括真空探头、入口系统、移动架等，还可以配合计算机进行数据处理和管理。

基本原理：

高能量/高频率输入到真空式列管或电影外壳(突触)内制造电离趋向自由离子型态(PCAP)，而后将通过加速电压落至依次串联的四级收集器所得到相应共振信号。 在多次重复施加通讯方式求助后并配合高灵敏度度磁漏极(Sensor)来个人识别悬浮微粒,热释放物质,化学生成物与污染可待样品以达到产品适应范围及需求。

总结：

HPQ3S残余气体分析仪采用五极谱技术，适用于大范围压力下对不同材料提供更精准的分析结果。RGA残余气体分析仪则通过质谱学原理实现对真空系统内部气体组成的检测和监控。两者均能提高真空系统装置的性能和可靠性，是现代科研、产业生产中不可或缺的重要工具。

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