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【溅射薄膜如何测傅里叶红外光谱图片视频】溅射薄膜傅里叶红外光谱分析及其四种主要结构形态

承天示优官方账号 2023-05-27 资讯 507 views 0


什么是溅射薄膜?

溅射技术:指利用惰性气体离子轰击固体靶材,使原子得到高能激发后瞬间弹出靶表面并沉积在基底上,从而形成一层厚度约为0.5~3μm的固态涂层。这种制备方法具有工艺简单、可控性好、适于量产等优点,并已成为目前应用广泛的表面加工和修饰方法之一。溅射薄膜(Sputter Thin Film):是一种新颖的功能材料,在微电子学、光学等领域中具有很重要的应用价值。它是以物理方式将靶材质量进行转移制得,则所形成晶粒大小、含氧率或复合物质类型都相对较稳定。

如何测量傅里叶红外光谱图片视频?

FTIR, Fourier Transform Infrared Spectroscopy (英文全称) 是通过分析样品与时间相关振幅的能谱(波长)分布信息来识别和鉴定化学物质的一种非破坏性检测方法。FTIR 法可以快速地提供样品的吸收、透射或反射光谱曲线,通过对特征峰(纵向振动与弯曲振动)进行解析,可以推断其有机小分子结构。

在 FTIR 分光仪中,测试时需先将待测样品制成薄片,并用夹具固定在透明散热窗口之间作为路径。该周期大约1~2分钟,在这个过程中直接转换出复杂多变的数据图表(如正交平面轮廓-OPP),以及计算实验得到在线数值结果。

测试结束后还可绘制所选区域内镜像显微图像以支持相关结果或验证方案等操作。

溅射薄膜有哪四种主要结构形态?

单晶: 指晶粒完整无缺陷、指向相同且取向几乎一致等技术参数完美符合理想条件。单晶涂层主要应用于 MEMS 传感器领域、摩擦削减等高度集成化产品领域;多晶: 指溅射层内的一团或多团类似于晶核集结体般不同方向上长大而形成包含各种缺陷的晶粒。其中层状分布晶之间耦合性较差,容易产生裂纹、弯曲等问题;“羽毛状”则表现出高度重复性且制备工艺相对简单。非晶: 表现出偏执序和无规序混杂在一起,没有明显可见的晶界微观结构,不具有绝对决定周期性。其特有的光学特性展示了其他两个阈值样式中所没有显示出来的异质化呈现方式。压实/堆积态薄膜:

是利用玻璃基板或云母为基底,在经过连续抛光、清洗后沿着垂直方向进行静电物理沉积而得到密度更高、致密度更完美,并可改变化学组成等优点。它基本不具备剪切应力释放机制并且随进入氧分子量增加而强调了反常区域调控角色

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