• 本文目录导读：
• 1、RGA残余气体分析仪验收
• 2、RGA残余气体分析仪测量及计算方法
• 3、RGA残留气体计算公式

RGA残余气体分析仪是一种高精度、高灵敏度的测试设备，主要应用于真空及超高真空环境下对物质内部气态成分和化学性能的研究。它广泛应用于电子材料、半导体、航天航空等领域，因为这些行业需要严格控制环境中各种元素的含量以确保产品质量。

RGA残余气体分析仪验收

在购买RGA残余气体分析仪之前，必须进行一系列的验收工作。从硬件配置到软件系统都需要进行全面检查，并确保设备符合以下标准：

• 规格与订单相符：确认设备是否满足实际需求及其预期使用范围；
• 外观完好无损：认真检视所有零部件是否有缺口或者明显划痕；
• 机器运行正常：启动测试程序并检测结果是否正确；
• 接口连接良好：检查各个连接点是否紧扣、无松动或者破损；
• 附带文件齐全：确保手册及相关文档全部提供且完整无缺。

对于使用过一段时间的RGA残余气体分析仪，还需要注意以下几点：

• 查看设备维护记录，确认机器是否经常进行日常保养和定期检修；
• 检查各传感器与探针读数是否正常，并做好标准化校验；
• 测试各个检测功能是否能够正常工作，并以标准参考样品比对计算误差值。

RGA残余气体分析仪测量及计算方法

RGA残留气体是指在真空环境下约10^-5 Torr以上,除了部分不易被电离或解离的高质量粒子以外,其他所有物质所组成的混合气体. 操作RGA仪时应按以下步骤操作：

1. 准备工作:

首先将待测物置入至长臂滑盘系统上，在载具口处引入所要求的真空度后关闭密封门。开启预抽主阀门，测试所在腔室内的气体压力是否达到预设值。若未达到则继续进行预抽。

2. 开始测试:

将RGA分析系统与试验物联接，启动程序并开始对待测样品中所有残留气体进行检测。该过程可能持续数小时至数天不等, 根据实际情况确定最适合方法和时长。

3. 数据获取:

RGA仪会输出一份结果报告, 通常表格形式呈现。其中列举了仪器检测出来各种元素及其相应含量（PPM）。需要注意的是这里的“ppm”代表着百万分之一整个大气压而非含量/质量比例。

RGA残留气体计算公式

根据上述步骤得出来每个元素在样品中的ppm值后, 可以使用下面公式计算

(其中Ci表示第nx 米质子序数; P表示当前破解爆裂温度; T为6800K)

通过以上计算得出来的结果可以用于生产流程控制，品质验证、以及在半导体行业中常用于检验上下游供货商是否符合标准要求。RGA分析因为快速精准, 其测试数据被认为是近年来最有效的“指纹型”物质鉴定技术。

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