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傅立叶变换红外ftir(傅立叶变换红外分析)

承天示优官方账号 2022-12-14 资讯 729 views 0

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本文目录一览:

fourier transform infrared spectra FTIR是什么意思

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傅里叶变换红外光谱FTIR

例句:

1.The annealing behavior of double-space in the neutron irradiation czochralski silicon is studied by fourier transform infrared spectrometer ( ftir) technique and positron annihilation spectroscopy ( pas).

利用傅立叶红外吸收光谱(ftir)和正电子湮没技术(pas)对快中子辐照直拉硅中的双空位(v2)的退火行为进行了研究。

傅立叶红外光谱仪FTIR的具体原理?

傅立叶变换红外光谱仪的核心部件是干涉仪,干涉仪的主要功能是使光源发出的红外光分为两束,一束被定镜反射,一束被动镜反射,动镜的移动使得反射回来的两束光产生了一定的光程差,再使之复合以产生干涉,所得到的干涉图函数包含了光源的全部频率和强度信息。用计算机将干涉图函数进行傅里叶变换,就可以得到以波长或波数为函数的频域图,即红外光谱图。

FTIR分析仪是什么

FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪(Fourier Transform infrared spectroscopy)

用于半导体制造业.FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器.

目的:·已发展成熟,可Routine应用者,计 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测. B.芯片之含氧、含碳量预测. C.磊晶之厚度量测.·

发展中需进一步Setup者有: A.氮化硅中氢含量预测. B.复晶硅中含氧量预测. C.光阻特性分析.FTIR为一极便利之分析仪器,STD的建立为整个量测之重点,由于其中多利用光学原理、芯片状况(i.e.晶背处理状况)对量测结果影响至钜.

目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的,光谱仪主要由光源(硅碳棒、高压汞灯)、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成.而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪,把样品放在检测器前,由于样品对某些频率的红外光产生吸收,使检测器接受到的干涉光强度发生变化,从而得到各种不同样品的干涉图.这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线,借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图.这一过程可有计算机完成.

用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤:

1)、分别收集背景(无样品时)的干涉图及样品的干涉图;

2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光;

3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱,得到样品的透射光谱或吸收光谱.

参考百科

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